ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 100V DA81S

商品情報
真空ポンプ・ 50/60Hz:75/85(l/min) DA81S
・●ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。
・●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。
・●排気速度(L/min)50/60Hz:75/85●到達圧力(Pa):13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm):12●電源(V):単相100●寸法(mm):181×336.5×217●騒音値(dB):-●質量(kg):10.3
・●サーマルプロテクタ付●低速低圧用
・●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす
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